会社概要 
 コンサルタント
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(技術比較)
 プラズマエミッション制御
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 GENCOA社
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 GENCOA社
カソード
 全面エロージョン
カソード
 高利用率カソード 
 デュアルカソード
 反応性スパッタ用
カソード
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カソード
 磁性膜用カソード
 ロータリーカソード
 新対向型カソード
アーステックへようこそ

アーステックは
技術コンサルタントの会社です。皆様の会社を技術面からサポートします。コンサルティングに関しましては、次の3コースを用意しております。詳細は、料金表をご覧ください。

相談・セミナーコース (1日コース)
 スパッタ膜、スパッタプロセストラブル、コストダウン、コスト比較などのご相談に応じるコースです。現場の打ち合わせになります。
開発コースA(GENCOA社スピードフロー導入コース 半年単位) 
 反応性スパッタのコストダウンのための成膜レートUP(約5〜10倍/同一パワー/同一装置)に対するスパッタ条件最適化業務を行います。
 開発コースB(一般コース、1年単位)
 薄膜製品開発、スパッタプロセス開発、改造、立ち上げなど長期テーマでのコンサルティングを行います。透明導電膜、バリア膜、光学薄膜、革新的スパッタ技術など。



オープンイノベーション
が注目されています。グローバル市場での競争の激化消費者ニーズの早い変化に対応するために、従来型の自前主義の閉鎖的方法ではなく、必要な研究開発能力、技術、を広く外部市場から調達し効率的なイノベーションを目指すいわゆるオープンイノベーションが世界の潮流となってきています。これらの動きに、貢献することが、目標です。

会社概要 
 コンサルタントコース別料金表

および 新対向型カソード

GENCOA社各種カソード

エロージョンを広げることで、ターゲット利用率を向上しアーキングを低減出来ます。
さらに、GENCOA社ロータリーデュアルカソードを用いて、
磁場を両カソード間でリンクさせ、また内側に傾けることで、プラズマをカソード側に閉じ込めること(特許)により、基板へのダメージを減らしたスパッタが可能です。

相談

スパッタの悩み無料相談 を始めました。

実験中や生産中に、上手く行かない、なぜだか良く分からないなどの悩みや困ったことは、良くあるものです。近くに相談する人や議論する人がいないことも多いです。
ちょっとヒントがあれば解決することもあります。反応性スパッタでは、意外と初歩的なミスも見受けられます。スパッタ技術を少しでも有効に活用して頂くために、無料にてアドバイスを行っています。よろしかったら活用してください。秘密は厳守します。また、あくまでもお寄せ頂いた情報のみでの判断ですので、現場の装置を見てのコメントではありません。解決のためのきっかけまたは切り口であるとお考えください。

あなたは

UP dated ,2013,8,17


執筆記事情報
現場のスパッタリング薄膜基礎講座へ(ブログ)

番目のお客様です。

     小島啓安
博士(工学)
名古屋大学 客員教授
中国科学院上海セラミックス研究所兼任教授

シンポジウム、セミナー情報
 
 長期から短期まで各種コンサルティング業務


       

反応性高速スパッタ技術は、産業界にインパクトを与える技術になってきました。 スパッタリングプロセスによる薄膜事業の 研究・開発・生産 をサポートします。

マイプロフィール
テニス:     毎週1回テニススクールに行っています。
お馬:      河口湖にある紅葉台木曽馬牧場に年1回外乗に行っています。
ダイビング:  セブへ潜りに行きます。なかなか良い写真が撮れません
お酒:      ネオンの輝きに癒されます
日帰り温泉:  ほったらかし温泉(甲府)、望郷の湯(群馬)、赤沢温泉(西伊豆)がマイフェバリットです。
焼き物:     壺屋焼(沖縄)が好みです。 益子焼の青空市にもたまに行きます。
美女:      国別ですと、ウクライナ、韓国、日本でしょうか。
ことば 1:   一生青春、一生勉強(相沢みつを)
ことば 2:   分け入っても分け入っても青い山(種田山頭火)
ことば 3:   前向きにと駐車場にも励まされ(読み人知らず)

日刊工業新聞社より「現場のスパッタリング薄膜 Q&A」出版しました。2008年8月、384ページ 3150円(税込)小島啓安著。  2010年4月:一部分訂正、増刷しました。
2012年1月:追加増刷しました。2013年9月:追加増刷で第4刷になりました。

この本は、初めてスパッタリングで薄膜の作製をしたり開発する方のための手引書として、また薄膜技術者の参考書として利用して頂けるように具体例をたくさん載せました。
現場にいれば、失敗から学ぶことも多いと考えて、敢えて失敗例も加えました。
本の内容についてのご意見、ご質問がありましたら、お気軽にご連絡ください。      ご連絡お待ちしております。 earth-tech@r9.dion.ne.jp 小島宛

GENCOA社コントローラーの利用(同一装置
酸化膜 5〜10倍

窒化膜2〜3倍
に成膜レートUP

コストダウン

既存の
スパッタ装置に
取り付けられます

 反応性高速スパッタ/遷移領域制御/プラズマエミッション法の原理
反応性高速スパッタ/遷移領域制御/インピーダンス法の原理 
 GENCOA社コントローラー(PEM),商品名:スピードフロー
 全面エロージョン
マグネトロンカソード
 高利用率
マグネトロンカソード
 デュアルマグネトロンカソード  反応性スパッタ用マグネトロンカソード
 磁場強度可変型マグネトロンカソード  磁性膜用高効率マグネトロンカソード
 フレキシブル基板用イオンソース  デュアル型プリトリートメント装置
ロータリーカソード 新対向型(N-MHV型)カソード 
遷移領域制御/高速成膜の応用例
光学膜
レンズ、プリズムなどに使う反射防止膜、フィルターなどの光学膜は、基板がガラスから樹脂に変わりつつあります。レンズなどに使う透明で硬いプラスチックは、ガラス転移点が低く、低温での成膜が必要です。光学膜は、従来、蒸着プロセスが主流でしたが、低温で密着性の良いスパッタ膜へ変わりつつありますが、従来のスパッタ方式では、成膜速度が遅く、基板温度上昇が大きな問題となります。PEM(プラズマエミッションモニター(コントローラー))を用いた高速成膜方法は、基板温度を上げずに、密着性の良い膜を作成可能です。
 装飾用膜
時計、デジタルカメラや、携帯電話など多くの商品でその外観に、鮮やかな色が求められています。PEMを使った方法としては、2通りあります。一つは、
ZrNx,TiNx膜などの窒化物を使って、遷移領域制御によりその化学量論性を高めて、この膜のxを1.0に近づけて金色を出す方法、2つ目は、金属膜の上にTiO2などの透明膜をつけ、2層にして干渉色を使う方法です。この場合には、透明膜の厚さを変えれば、多くの鮮やかな色が出せますが、膜が厚いために高速に成膜出来ることが、コスト、基板温度の面で鍵となります。
透明導電膜
タッチパネルや有機ELなど市場が広がっています。ITOを例にとりますと、2通りあります。1つは、ITOターゲットを使う場合、比抵抗値を最適に保つためのO2ガス導入の自動化です。酸素空孔量を制御するために、O2ガスを微量導入しますが、ターゲットのIn発光値を用いてO2量を制御することにより達成します。2つ目は、ITターゲットを使った高速成膜です。TiO2膜やSiO2膜と同様に金属の発光(ここではIn)を制御することにより、遷移領域制御してITO膜を高速成膜します。
バリア膜
プラスチック基板を用いて、有機ELなどのフレキシブル化を行うには、水、酸素などのバリア膜が不可欠です。透明バリア膜には、SiOxNy膜のような多元の組成が有望視されていますが、このような膜の高速化も可能です。またSiO2膜からSi3N4膜に徐々に変化する傾斜膜も有効と考えられますが、導入するガス組成をO2からN2に変えることで出来ます。
光触媒膜
TiO2膜のアナターゼ型の結晶構造が必要とされています。触媒活性を出すには、結晶粒が小さく、酸化還元の程度が重要となります。TiOx膜のxの値を制御するのに、遷移領域制御が有効です。プラズマ発光で制御する発光のポイントを変えることで、xの値を微量調整することが可能となります。
 ハードコーティング膜
Al2O3膜のような酸化物を使ったハードコーティングでは、膜厚が厚くなり高速化が必須です。
英国GENCOA社製 遷移領域制御/高速成膜用PEM(プラズマエミッションモニター)コントローラー の用途は広がっています。
 PEM方式とインピーダンス方式の制御が1台のコントローラーで可能です。(4チャンネルまで同時に制御できます)GENCOA社は、独自のシミュレーション技術を生かして、高効率カソードも制作しており、スパッタのコストダウンに貢献しております。
GENCOA社製品のお問い合わせ
技術、仕様: アーステック 電話 046−205−1270 または
                      earth-tech@r9.dion.ne.jp

見積: 富士交易 入学 電話 06-6398-6760 FAX 06-6393-3930
 

ご応募お待ちしております。

スパッタQ&A

*足利フラワーパークの藤,つつじ
*ひたち海浜公園のネモフィラ、チューリップ
*セブ島のクマノミ
など
2009年5月撮影

お問い合わせはEメールまたは電話で:
TEL046−205−1270
earth-tech@r9.dion.ne.jp

アーステック社のご紹介

ご応募は 右記へ  earth-tech@r9.dion.ne.jp

スパッタリングのコンサルタントを始めてから10年が経ちました。お陰さまで、多くの会社の研究開発や製造に関わらせて頂きました。有難うございました。今後共、よろしくお願い申し上げます。
また、日刊工業新聞社から発行致しました「現場のスパッタリング薄膜Q&A]も、大変好評頂きました。有難うございます。ささやかですが、スパッタリングを含めた薄膜技術や事業を通じて、社会に貢献出来たら嬉しいと思っています。
本を出版してから5年経ちましたが、その間に多くの方から、「分かりやすくて、役に立った」と言うようなことばを掛けて頂きました。執筆中は、普段の勉強不足により、筆が進まず厳しい時もありましたが、ほんとに、嬉しい限りです。
そこで、今年9月より1年間毎月1冊著書を抽選で差し上げたいと企画しました。少しでも多くの方に、スパッタリング技術に興味を持って頂き、この技術の可能性を感じて頂ければ幸いです。もしお時間がありましたら、質問に回答頂き、応募頂ければと思います。正解者のなかから、抽選でお送りしたいと思います。

コーヒーブレイク